Страница академии     

    Наш факультет

    Расписание              


 

История кафедры

Дисциплины

Преподаватели

Специальности

Научная работа

Учебные пособия

Страницы студентов

Обучающие программы

Наука


На главную

Абрамов Геннадий Владимирович

 №

Название патента

Выходные данные

Соавторы

1

Инструментальный магазин.

А.С. № 1514543 СССР МКИ H 01 L 21/312 

Битюков В.К., Попов Г.В. 

2

Способ получения покрытий из фоторезиста.

А.С. № 1558256 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Кочетов В.И., Попов Г.В. 

3

Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины.

А.С. № 1598770 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Кочетов В.И., Попов Г.В. 

4

Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины.

А.С. № 1618218 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В. 

5

Способ удаления резиста с поверхности полупроводниковых пластин и устройство для удаления резиста с поверхности пластин.

А.С. № 1635824 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В., Федоров Н.Н. 

6

Способ нанесения покрытий из фоторезиста на подложки и устройство для нанесения фоторезиста на подложки.

А.С. № 1769638 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В. 

7

Способ нанесения покрытий из фоторезиста центрифугированием.

А.С. № 1780428 СССР, МКИ G 03 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В. 

8

Способ нанесения покрытий из фоторезиста центрифугированием

А.С. № 1736268 СССР, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В. 

9

Способ нанесения покрытий центрифугированием

Патент № 2094903 РФ, МКИ H 01 L 21/312. 

Битюков В.К., Попов Г.В., Рыжков В.В. 

10

Устройство для нанесения фоторезиста на пластины

Патент № 2093921 РФ, МКИ H 01 L 21/00. 

Битюков В.К., Попов Г.В., Рыжков В.В. 

11

Устройство для ориентации пластин

Патент № 2099816 РФ, МКИ H 01 L 21/68. 

Битюков В.К., Назина Л.И., Попов Г.В. 

12

Устройство для ориентации пластин

Патент № 2099815 РФ, МКИ H 01 L 21/68. 

Битюков В.К., Назина Л.И., Попов Г.В. 

13

Устройство для ориентации пластин

Патент № 2098888 РФ, МКИ H 01 L 21/68. 

Битюков В.К., Назина Л.И., Попов Г.В. 

14

Способ получения покрытий из фоторезиста

Патент № 2136077 РФ, МПК 6 H 01 L 21/312 

Битюков В.К., Володин Р.А., Попов Г.В. 

15

Устройство для ориентации пластин

Патент № 2131155 РФ, МКИ H 01 L 21/68. 

Битюков В.К., Назина Л.И., Попов Г.В. 

16

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его осуществления

Патент № 2158897 РФ, МПК 7 G 01 B 11/06 

Битюков В.К., Ерыгин Д.В., Попов Г.В. 

17

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения

Патент № 2157509 РФ, МПК 7 G 01 B 11/06 

Битюков В.К., Ерыгин Д.В., Попов Г.В. 

18

Способ охлаждения полупроводниковых пластин и устройство для его осуществления

Патент № 2153209 РФ, МПК 6 H 01 L 21/312 

Битюков В.К., Коваленко В.Б., Попов Г.В. 

19

Способ получения покрытия из фоторезиста и устройство для его осуществления

Патент № 2158987 РФ, МПК 7 H 01 L 21/312 

Битюков В.К., Коваленко В.Б., Попов Г.В. 

20

Устройство для шлифования полупроводниковых пластин

Патент № 2191674 РФ, МПК 7 В 24 В 7/16 

Битюков В.К., Гребенкин О.М., Попов Г.В. 

21

Устройство для шлифовки полупроводниковых пластин

Патент № 2175283 РФ, МПК 7 В 24 В 7/16 

Битюков В.К., Гребенкин О.М., Попов Г.В. 

22

Линия фотолитографии

Патент № 2201012 РФ, МПК 7 H 01 L 21/02 

Давыденко О.А., Попов Г.В. 

23

Устройство для нанесения покрытий на пластины

Патент № 2217841 РФ, МПК 7 H 01 L 21/312 

Котляров М.М.,Попов Г.В. 

24

Устройство для нанесения покрытия на пластины центрифугированием

Патент № 2278443 РФ, МПК 7 H 01 L 21/312, Опубликован 20.06.2006 

Попов Г.В., Хоботнев О.Ю. 

25

Способ получения углеродных нанотрубок и устройство его осуществления

Патент № 2337061 РФ, МПК 7 H 01 L 21/312, Опубликован 27.10.2008 

Аксенов С.Н, Ершов С. В. , Попов Г. В. 

26

Способ управления линией фотолитографии и устройство его осуществления

Патент № 2328055 РФ, МПК 7 C01B31/02 B82B3/00, Опубликован 27.06.2008 

Емельянов А. Е., Ивлиев М. Н. 

 

 
   
 

Контакты: тел: (4732) 55-25-50
e-mail: mmtc@vgta.vrn.ru